\ MEMS'e Giriş

MEMS’e Giriş (ME 462)

Mikroüretim metodlarına giriş. İnce-film baskısı, litografi, oksitlenme ve diğer üretim teknikleri. Çok kullanıcılı MEMS (mikro elektro-mekanik sistemler) üretim merkezleri. Mikrosistemlerin elektriksel, mekanik ve termal alanda incelenmesi. MEMS tasarım, analiz ve karakterizasyonu.

KATEGORİ:
Lisans, Seçmeli
KREDİ:
(3,0,0) 3
ECTS:
5